高純水設備的原理主要是基于反滲透（RO）技術和離子交換技術。高純水設備可除鹽，水質可達10 -18.2 MΩ.cm。它的兩個主要原理是反滲透和離子交換。

高純水設備生產純水的反滲透、離子交換原理：

反滲透技術：反滲透是一種通過半透膜分離物質的方法。在高純水設備中，對水質進行預處理，如過濾、軟化等，去除水中的懸浮物、顆粒和硬度物質。預處理后的水被送至反滲透膜組件，通過微孔結構，阻擋溶解的鹽類、有機物、微生物等離子體和顆粒，并允許水分子通過。當施加反滲透壓力時，高濃度溶質被推向低濃度一側，純水通過膜的另一側。然后得到的水是高純水。

離子交換技術：離子交換是通過樹脂去除水中離子的一種方法。高純水設備中，離子交換樹脂起著去除水中離子的作用。該樹脂選擇性強，能吸附水中的陽離子和陰離子，并釋放等量的H+和OH—離子，使水中的離子被去除。在樹脂飽和后，需要進行再生操作，以洗去吸附的離子并恢復樹脂的吸附能力。

如果同時使用反滲透和離子交換技術，高純水設備可以有效去除水中的雜質、溶解性固體、溶解性鹽類、有機物、和微生物，生產出高純水。電話和數(shù)據系統(tǒng)），這種水質通常具有較低的電導率和總溶解固體，非常適合于各種需要高純水的應用，如實驗室、制藥、電子制造、食品加工等。